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Vertikales PVD-Sputter-System für partikelfreie Beschichtung
- VISTARIS ist eine vertikale, modulare PVD-Sputteranlage von SINGULUS, die speziell für partikelfreie Beschichtungsprozesse entwickelt wurde
- Ideal für die Aufbringung hochwertiger Kohlenstoffschichten auf Edelstahl-Bipolarplatten.
- VISTARIS unterstützt auch die Abscheidung von Katalysatorschichten und korrosionsbeständigen Beschichtungen und ist damit eine hervorragende Lösung für PEM-Brennstoffzellen, Elektrolyseure und andere Wasserstoff-Energieanwendungen.
- Skalierbare Beschichtungsbreiten von 0,3 m bis 2,5 m ermöglichen eine Produktion mit hohem Durchsatz.
Vertikale PVD-Sputteranlage für partikelfreie Beschichtungen
- Die VISTARIS PVD von SINGULUS TECHNOLOGIES ist eine leistungsstarke, vertikale Inline-PVD-Sputteranlage, die speziell für partikelfreie Dünnfilmbeschichtungen in Wasserstoffenergieanwendungen entwickelt wurde. Seine vertikale Ausrichtung reduziert die Verunreinigung durch Partikel erheblich und eignet sich daher besonders gut für Kohlenstoffbeschichtungen und andere hochreine Schichten, die auf Bipolarplatten (BPPs) aufgebracht werden, die in PEM-Brennstoffzellen und Elektrolyseuren verwendet werden. In diesen Systemen sind hochleistungsfähige Beschichtungen unerlässlich, um die Korrosionsbeständigkeit zu erhöhen, die Leitfähigkeit zu verbessern und die Lebensdauer kritischer Komponenten zu verlängern.
- Das Herzstück von VISTARIS ist eine modulare Vakuumkammerkonstruktion, die eine gleichmäßige und skalierbare Beschichtungsleistung ermöglicht. Die vertikale Inline-Sputterkonfiguration unterstützt Substratbreiten von 0,3 bis 2,5 Metern und bietet einen optimierten Durchsatz sowohl für Pilot- als auch für Massenproduktionsumgebungen. Der Präzisionssubstratträger des Systems ermöglicht ein- oder beidseitige Beschichtungen mit unabhängiger Materialauswahl pro Seite und unterstützt maßgeschneiderte Stapel für katalytische Aktivität und Korrosionsschutz.
- Außerdem ist VISTARIS für effizientes Edelmetallrecycling ausgelegt, mit Vakuumkammern, die für maximale Materialrückgewinnungsraten optimiert sind. Dies minimiert die Verluste an wertvollen Materialien wie Platin, Gold und Iridium und verbessert sowohl die wirtschaftliche Rentabilität als auch die Nachhaltigkeit bei der Herstellung von Wasserstoffsystemen in großem Maßstab.
Schlüsselmerkmale und Fähigkeiten
-
Anwendungen:
- Partikelfreie Kohlenstoff- und korrosionsbeständige Beschichtungen für PEM-Elektrolyseure und Brennstoffzellen
- Beschichtung von BPPs, PTLs, GDLs, MEAs, Kathoden und anderen Stack-Komponenten
- Parallele Verarbeitung von mehreren Substratformaten -
Kerntechnologien:
- Vertikaler Inline-Substrattransport für minimale Partikelkontamination
- PVD-Magnetron-Sputtern
- DC-, pDC-, BP- und RF-Prozessoptionen
- Vakuum-Vorbehandlung zur Oberflächenaktivierung
- Substratheizung vor und während der Abscheidung
- Drehbare zylindrische Kathoden für eine effiziente Nutzung des Zielmaterials
- Trägergestützter Transport für eine flexible Handhabung des Substrats -
Materialien & Beschichtungen:
- C, Au, Pt, Ir, Cr, CrN und andere Metallnitride
- Ein- und beidseitige Abscheidung, mit flexiblen Schichtstapeln -
Skalierbarkeit:
- Unterstützt Substrate von 0.3 × 0,6 m (Labormaßstab) bis 2,5 m Breite (Produktionsmaßstab)
- Erhält eine hohe Beschichtungsgleichmäßigkeit von ±3% über alle Formate hinweg -
Skalierbarer Jahresausstoß:
- Bei einer Plattengröße von 600 cm² ermöglicht die SINGULUS in-line PVD-Sputteranlage einen Durchsatz von 1,0 Millionen Bipolarplatten pro Jahr bis zu 10.5 Millionen -
Nachhaltigkeit:
- Vakuumkammern, die für hohe Edelmetallrückgewinnungsraten
- Reduzierter Materialabfall und niedrigere Produktionskosten
- Vollständige Recycling-Lieferkette für Edelmetalle
Mit seiner vertikalen Konfiguration, partikelfreien Beschichtungsmöglichkeiten und der skalierbaren Architektur ist VISTARIS PVD eine innovative Lösung für hochreine, hocheffiziente Beschichtungsprozesse in der industriellen Wasserstofftechnologie.
Kontaktieren Sie uns
- Geben Sie sich nicht mit suboptimalen Beschichtungen zufrieden. Fordern Sie unsere Experten heraus, um Ihre Brennstoffzellenstapel, Elektrolyseurplatten oder jede andere Präzisionskomponente - ob groß oder klein - zu verbessern. Setzen Sie sich noch heute mit uns in Verbindung, um Ihre Spezifikationen zu besprechen, Muster anzufordern oder eine Werksbesichtigung zu vereinbaren.
| Marke | SINGULUS |
Singulus Technologies AG
SINGULUS TECHNOLOGIES ist ein führender Anbieter von hochmodernen Maschinen und Anlagen für hochpräzise Dünnschichtbeschichtungs- und Oberflächenbehandlungsprozesse. Mit einer globalen Präsenz kommen unsere Technologien in einer Vielzahl von Branchen zum Einsatz, darunter Photovoltaik, Halbleiter, Medizintechnik, Verpackung, Glas und Automobil sowie in den schnell wachsenden Batterie- und Wasserstoffsektoren.
Unsere Kernkompetenzen umfassen ein breites Spektrum an Beschichtungs- und Oberflächentechnologien, darunter: PVD-Sputtern, PECVD, thermische Verdampfung (z. B. Close-Space-Sublimation, CSS), Oberflächenaktivierung und -vorbehandlung sowie die Integration von nasschemischen und thermischen Prozessen.
Im Wasserstoffsektor machen Bipolarplatten (BPPs) einen erheblichen Teil des Gewichts und einen großen Anteil der Herstellungskosten von PEM-Brennstoffzellen und Elektrolyseurstapeln aus. Um eine kosteneffiziente Massenproduktion zu ermöglichen, sind fortschrittliche Beschichtungslösungen unerlässlich. Diese funktionellen Beschichtungen beeinflussen direkt die Korrosionsbeständigkeit und den Grenzflächenkontaktwiderstand – wichtige Faktoren für die Gewährleistung einer langen Lebensdauer, einer hohen elektrischen Effizienz und einer hohen Systemzuverlässigkeit.
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