用于无颗粒涂层的垂直 PVD 溅射系统

  • VISTARIS 是 SINGULUS 推出的立式模块化 PVD 溅射系统,专为无颗粒涂层工艺而设计
  • 是在不锈钢双极板上应用高质量碳涂层的理想之选。
  • VISTARIS 还支持沉积催化剂层和耐腐蚀涂层,是 PEM 燃料电池、电解槽和其他氢能应用的理想解决方案。
  • 可升级的涂层宽度从 0.3 米到 2.5 米,实现了高产能生产。

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用于无颗粒涂层的垂直 PVD 溅射系统

  • SINGULUS TECHNOLOGIESVISTARIS PVD 是一款高性能的 垂直内嵌式 PVD 溅射系统,专门用于氢能应用中的 无颗粒薄膜涂层。它的垂直方向可大大减少微粒污染,因此特别适用于PEM燃料电池电解器中使用的碳涂层双极板(BPPs)上的其他高纯度涂层。在这些系统中,高性能涂层对于增强耐腐蚀性提高导电性延长关键部件的使用寿命至关重要。
  • VISTARIS 的核心是模块化真空室设计,可实现均匀和可扩展的涂层性能。其垂直、在线溅射配置支持基片宽度从 0.3 米到 2.5 米,并为中试和量产环境优化了吞吐量。该系统的精密基片载体允许单面或双面涂层,每一面都有独立的材料选择,支持催化活性腐蚀保护的定制堆叠。
  • 此外,VISTARIS 专为高效贵金属回收而设计,其真空室经过优化,可实现最大材料回收率。这最大限度地减少了铂、金和铱等贵金属的损失,提高了大规模氢系统制造的经济可行性可持续性

主要特点和能力

  • 应用:
    - 用于PEM 电解器燃料电池的无颗粒碳和耐腐蚀涂层
    - ;BPPsPTLsGDLsMEAs阴极和其他堆栈组件的涂层
    - 多种基板格式的并行处理

  • 核心技术:
    垂直内嵌式基底传输,可最大限度地减少颗粒污染
    - PVD 磁控溅射
    - DC、pDC、BP 和 RF 工艺选项
    - 用于表面活化的真空预处理
    - 沉积前和沉积过程中的基底加热
    - ;可旋转的圆柱形阴极,可高效使用目标材料
    基于载体的传输,可灵活处理基底

  • 材料和涂层:
    - C、Au、Pt、Ir、Cr、CrN和其他金属氮化物
    - 单面和双面沉积,具有灵活的层堆

  • 可扩展性:
    - 支持从 0.3 × 0.6 m(实验室规模)到 2.5 m 宽(生产规模)
    - 在所有幅面上都能保持较高的涂层均匀性  ±3% 

  • 可扩展的年产量:
    -考虑到 600 cm² 板尺寸,SINGULUS 在线 PVD 溅射系统可使 年产量从 100 万块双极板提高到 1000 万块。

  • 可持续性:
    - 真空室专为高贵金属回收率而设计
    - 减少材料浪费,降低生产成本
    - 完整的贵金属回收供应链

凭借其垂直配置VISTARIS PVD 具有垂直配置无颗粒涂层功能可扩展结构,是工业制氢技术生产中高纯度、高效率涂层工艺的尖端解决方案。

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  • Don't settle for sub-optimal coating.请与我们的专家联系,以改进您的燃料电池堆、电解槽板或任何精密部件(无论大小) 立即联系我们,讨论您的规格、索取样品或安排参观工厂。
品牌 SINGULUS
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SINGULUS TECHNOLOGIES 是先进精密薄膜涂层及表面处理工艺设备与系统的领先供应商。凭借全球布局,我们的技术广泛应用于多个行业领域,包括光伏半导体医疗技术包装玻璃与汽车,以及快速发展的电池和氢能领域。

我们的核心技术涵盖广泛的沉积与表面工程技术,包括:物理气相沉积(PVD)溅射、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、热蒸发(如近场升华,CSS)、表面活化与预处理、湿化学与热工艺集成。

氢能领域双极板(BPP)重量的显著比例,并占制造成本的大部分,是质子交换膜燃料电池电解槽堆栈的关键组件。为实现成本高效、大规模生产,先进涂层解决方案至关重要。这些功能性涂层直接影响耐腐蚀性界面接触电阻——确保长期耐用性高电效率系统可靠性的关键因素。

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