用于催化剂沉积和耐腐蚀涂层的水平 PVD 溅射系统
- GENERIS 是一种高通量、模块化的 PVD 溅射系统，具有水平基底传输功能，
- 专为氢技术而设计，例如PEM 电解器和燃料电池。
- 它可实现催化剂层和耐腐蚀涂层的精确沉积，是先进的能源转换应用的理想之选。
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用于催化剂沉积和抗腐蚀涂层的水平 PVD 溅射系统
- SINGULUS TECHNOLOGIES 的 GENERIS PVD 是一款高性能的水平内嵌式 PVD 溅射系统，专为 氢能应用中的 高控制薄膜涂层 而设计。它特别适用于生产用于PEM电解器和燃料电池的双极板（BPPs），其中高性能涂层对于增强耐腐蚀性、提高导电性和延长这些关键部件的使用寿命至关重要。
- 该系统的核心是模块化真空室设计，可提供高产能和均匀的薄膜涂层。凭借其动态在线溅射工艺，GENERIS PVD可在宽度达1.6米的基底上实现±3%的膜层厚度均匀性，这对PEM 电解槽的稳定性能至关重要。
- 多用途基底载体系统允许灵活配置，包括单面或双面涂层，每面都有独立的材料选择，实现了催化效率和腐蚀保护的优化堆叠。
此外，该系统专为高效贵金属回收而设计，其真空室经过优化，可实现最高的材料回收率。这种设计大大减少了铂、金和铱等贵金属的损耗，确保了环境和经济效益。
主要特点和能力
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应用：
- 用于 PEM 电解器和燃料电池的金属化和腐蚀涂层
- BBP、PTL、GDL、MEA、阴极和其他堆栈组件
- 可并行处理多个基板，可处理不同尺寸的基板 -
核心技术：
- 水平在线基片传输
- PVD 磁控溅射（自下而上/自上而下）
- 去除表面分子的真空预处理
- 处理前和处理过程中的基片加热
- 可旋转的圆柱形阴极，可最大限度地利用目标材料 -
材料和amp; 涂层：
- Au、Pt、Ir、C、Cr、CrN 和其他金属氮化物
- 单面和双面层沉积 -
可扩展性：
- 在所有格式中保持±3% 的层厚度一致性
- 支持从 0.4 × 1.0 m（实验室规模）到 1.4 × 1.6 m（生产规模） -
可扩展的年产量：
-考虑到 600 cm² 的极板尺寸，SINGULUS 在线 PVD 溅射系统可使 双极板年产量从 300 万片增至 1000 万片。500万块 -
可持续性：
- 真空室专为高贵金属回收利用率而设计
- 减少材料浪费，降低生产成本
- 完整的贵金属回收利用供应链
凭借其可扩展平台和精密镀膜能力，GENERIS PVD 是工业规模氢元件制造的理想解决方案。
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- Don't settle for sub-optimal coating.请与我们的专家联系，以改进您的燃料电池堆、电解槽板或任何精密部件（无论大小） 立即联系我们，讨论您的规格、索取样品或安排参观工厂。
| 品牌 | SINGULUS |
Singulus Technologies AG
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SINGULUS TECHNOLOGIES 是先进精密薄膜涂层及表面处理工艺设备与系统的领先供应商。凭借全球布局，我们的技术广泛应用于多个行业领域，包括光伏、半导体、医疗技术、包装、玻璃与汽车，以及快速发展的电池和氢能领域。
我们的核心技术涵盖广泛的沉积与表面工程技术，包括：物理气相沉积（PVD）溅射、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、热蒸发（如近场升华，CSS）、表面活化与预处理、湿化学与热工艺集成。
在氢能领域，双极板（BPP）占重量的显著比例，并占制造成本的大部分，是质子交换膜燃料电池和电解槽堆栈的关键组件。为实现成本高效、大规模生产，先进涂层解决方案至关重要。这些功能性涂层直接影响耐腐蚀性和界面接触电阻——确保长期耐用性、高电效率和系统可靠性的关键因素。
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