用于无颗粒涂层的垂直 PVD 溅射系统
- VISTARIS 是 SINGULUS 推出的立式模块化 PVD 溅射系统，专为无颗粒涂层工艺而设计
- 是在不锈钢双极板上应用高质量碳涂层的理想之选。
- VISTARIS 还支持沉积催化剂层和耐腐蚀涂层，是 PEM 燃料电池、电解槽和其他氢能应用的理想解决方案。
- 可升级的涂层宽度从 0.3 米到 2.5 米，实现了高产能生产。
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用于无颗粒涂层的垂直 PVD 溅射系统
- SINGULUS TECHNOLOGIES 的 VISTARIS PVD 是一款高性能的 垂直内嵌式 PVD 溅射系统，专门用于氢能应用中的 无颗粒薄膜涂层。它的垂直方向可大大减少微粒污染，因此特别适用于PEM燃料电池和电解器中使用的碳涂层和双极板（BPPs）上的其他高纯度涂层。在这些系统中，高性能涂层对于增强耐腐蚀性、提高导电性和延长关键部件的使用寿命至关重要。
- VISTARIS 的核心是模块化真空室设计，可实现均匀和可扩展的涂层性能。其垂直、在线溅射配置支持基片宽度从 0.3 米到 2.5 米，并为中试和量产环境优化了吞吐量。该系统的精密基片载体允许单面或双面涂层，每一面都有独立的材料选择，支持催化活性和腐蚀保护的定制堆叠。
- 此外，VISTARIS 专为高效贵金属回收而设计，其真空室经过优化，可实现最大材料回收率。这最大限度地减少了铂、金和铱等贵金属的损失，提高了大规模氢系统制造的经济可行性和可持续性。
主要特点和能力
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应用：
- 用于PEM 电解器和燃料电池的无颗粒碳和耐腐蚀涂层
- ；BPPs、PTLs、GDLs、MEAs、阴极和其他堆栈组件的涂层
- 多种基板格式的并行处理 -
核心技术：
- 垂直内嵌式基底传输，可最大限度地减少颗粒污染
- PVD 磁控溅射
- DC、pDC、BP 和 RF 工艺选项
- 用于表面活化的真空预处理
- 沉积前和沉积过程中的基底加热
- ；可旋转的圆柱形阴极，可高效使用目标材料
- 基于载体的传输，可灵活处理基底 -
材料和涂层：
- C、Au、Pt、Ir、Cr、CrN和其他金属氮化物
- 单面和双面沉积，具有灵活的层堆 -
可扩展性：
- 支持从 0.3 × 0.6 m（实验室规模）到 2.5 m 宽（生产规模）
- 在所有幅面上都能保持较高的涂层均匀性 ±3% -
可扩展的年产量：
-考虑到 600 cm² 板尺寸，SINGULUS 在线 PVD 溅射系统可使 年产量从 100 万块双极板提高到 1000 万块。 -
可持续性：
- 真空室专为高贵金属回收率而设计
- 减少材料浪费，降低生产成本
- 完整的贵金属回收供应链
凭借其垂直配置、VISTARIS PVD 具有垂直配置、无颗粒涂层功能和可扩展结构，是工业制氢技术生产中高纯度、高效率涂层工艺的尖端解决方案。
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- Don't settle for sub-optimal coating.请与我们的专家联系，以改进您的燃料电池堆、电解槽板或任何精密部件（无论大小） 立即联系我们，讨论您的规格、索取样品或安排参观工厂。
| 品牌 | SINGULUS |
Singulus Technologies AG
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SINGULUS TECHNOLOGIES 是先进精密薄膜涂层及表面处理工艺设备与系统的领先供应商。凭借全球布局，我们的技术广泛应用于多个行业领域，包括光伏、半导体、医疗技术、包装、玻璃与汽车，以及快速发展的电池和氢能领域。
我们的核心技术涵盖广泛的沉积与表面工程技术，包括：物理气相沉积（PVD）溅射、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、热蒸发（如近场升华，CSS）、表面活化与预处理、湿化学与热工艺集成。
在氢能领域，双极板（BPP）占重量的显著比例，并占制造成本的大部分，是质子交换膜燃料电池和电解槽堆栈的关键组件。为实现成本高效、大规模生产，先进涂层解决方案至关重要。这些功能性涂层直接影响耐腐蚀性和界面接触电阻——确保长期耐用性、高电效率和系统可靠性的关键因素。
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